超聲波清洗技術(shù)最早出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代早期，由美國(guó)新澤西州的美國(guó)無(wú)線電公司技術(shù)人員研究提出。國(guó)外超聲波清洗設(shè)備種類(lèi)繁多，超聲波清洗設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，各種超聲波清洗設(shè)備不斷推陳出新。高頻超聲波清洗技術(shù)在國(guó)外超聲波清洗設(shè)備中所占比重非常大，用來(lái)清洗微小芯片，可以把0.15μm的污染物清洗掉。我國(guó)的超聲波清洗技術(shù)方面研究相對(duì)較早，超聲波清洗技術(shù)發(fā)展快速、應(yīng)用廣泛，清洗技術(shù)綜合利用方式也多樣化:一個(gè)是從單缸機(jī)到多缸機(jī)或自動(dòng)化的超聲清洗生產(chǎn)線;另一個(gè)是從低頻超聲清洗機(jī)到高頻超聲清洗機(jī)方式。
（1) 聚焦式清洗:可以在局部區(qū)域發(fā)生高強(qiáng)度的超聲波，工作頻率有15，20，28kHz。聚焦式清洗方式可以彌補(bǔ)普通超聲波清洗方式由于超聲波能量不夠而引起的清洗不徹底。
（2) 超聲振動(dòng)清洗:是超聲波通過(guò)變幅桿和振動(dòng)頭傳送到需要清洗的物件上，最后由于高速振動(dòng)物件表面污染物脫落實(shí)現(xiàn)清洗效果。這種新方法和普通超聲波清洗方法的不同點(diǎn)是不需要清洗液。
（3) 多頻清洗:是由多種頻率的換能器同時(shí)發(fā)生不同頻率的超聲波來(lái)清洗物件。不同的超聲波頻率對(duì)物件的清洗效果是不一樣的。低頻超聲波清洗物件表面的污染物，高頻超聲波清洗內(nèi)部細(xì)小的污染物，高、低頻配合使物件清洗干凈。
（4) 掃頻和跳頻清洗:二者都有改善超聲波清洗容器內(nèi)超聲場(chǎng)的結(jié)構(gòu)。掃頻可以改善清洗容器內(nèi)的駐波場(chǎng)，使物件清洗得很好。跳頻和多頻都可以根據(jù)實(shí)際情況選擇高、低頻。不一樣的是，跳頻是一種換能器有兩種頻率，根據(jù)需要選擇發(fā)生那種頻率。
（5) 多槽式全自動(dòng)聯(lián)合清洗:是多槽聯(lián)合智能控制、降低勞動(dòng)強(qiáng)度、提高綜合效率的智能設(shè)備。它可以對(duì)放入清洗槽內(nèi)的規(guī)格不同、材料不同、形狀不同、污染程度差異的物件，根據(jù)其不同情況、不同方位發(fā)生對(duì)應(yīng)的頻率、功率等超聲波，實(shí)現(xiàn)用最少的成本達(dá)到最佳的清洗效果。
（6) 兆赫級(jí)超聲清洗:這種高頻清洗方式的清洗原理是利用聲能產(chǎn)生的液體流動(dòng)來(lái)清洗污件的，不是傳統(tǒng)的利用“超聲空化效應(yīng)”來(lái)實(shí)現(xiàn)清洗目的。兆赫級(jí)超聲波清洗不會(huì)因“空化效應(yīng)”產(chǎn)生強(qiáng)大的清洗力，因此其優(yōu)點(diǎn)是對(duì)類(lèi)似集成芯片這樣體積小、容易受損的物件既能清洗得很好、也能很好地保護(hù)器件，從而在電子元件清洗領(lǐng)域應(yīng)用非常廣泛。
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