超聲波清洗技術(shù)經(jīng)過幾十年來的理論探討和應(yīng)用研究,無論是設(shè)備還是工藝均取得了較大的發(fā)展,研發(fā)出了一批先進典型的清洗工藝。
1.高頻超聲清洗
該技術(shù)采用兆赫茲級的高頻超聲波進行清洗,由于頻率過高,清洗效果主要是靠高頻聲波帶動液體產(chǎn)生的擦洗作用,其對污物的去除率接近百分之百,因而清洗的關(guān)鍵不是氣泡,空化效應(yīng)作用甚微。高頻清洗近來發(fā)展較快,目前主要用于超大規(guī)模集成電路芯片、硅晶片、陶瓷等特種污物的清洗。
2.多頻清洗
該技術(shù)采用多個不同頻率的換能器,在同一液體環(huán)境中,分別與各自頻率的換能器發(fā)生作用。低頻超聲波的強度高,有利于清洗物體表面;高頻超聲波空化密度高,有利于清洗凹槽、孔洞、細縫等細微結(jié)構(gòu),同時多種頻率的超聲波克服了單頻清洗不均勻的問題。
3.變頻清洗
變頻清洗是為了改善缸中的聲場結(jié)構(gòu),使清洗效果均勻。變頻清洗兼顧到高低頻清洗,與多頻清洗不同的是,變頻清洗用的是一只換能器和一只發(fā)生器,其換能器有兩個諧振頻率,在第一諧振點帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化,然后跳到另一帶寬內(nèi)進行變頻清洗。它是高低頻交替進行清洗。