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掃描電鏡真空系統(tǒng)概述

返回列表 來源：未知 發(fā)布日期：2019-04-20 22:46【大 中 小】
在電子顯微鏡中，壓強必須減小到這種程度，即大多數(shù)子在其全部運動過程中，不會與氣體分子相碰撞。從這個觀點講，真空度一般在10-4~10-5托就可以了。另一方面，如果用場發(fā)射陰極，則電子槍內(nèi)必須保持超高真空（10"托），對于某些試樣，也希望在試樣室中達(dá)到和電子槍相近的真空度以防止試樣污染。在這二個極限之間有一個折衷既要保持足夠低的壓強，以達(dá)到所要求的目的，又不致使抽氣系統(tǒng)過于復(fù)雜。使用一般的真空技術(shù)便能獲得這種壓強，需要特別說明的只是下面幾點。
 
如果要求掃描電鏡達(dá)到高分辨本領(lǐng)，那么應(yīng)該盡可能地隔離各種震動源。因此在用機械泵時應(yīng)使它遠(yuǎn)離電鏡，并安裝在防震支架上。為了不降低抽氣速度，擴(kuò)散泵必須裝在電鏡鏡筒附近，因此擴(kuò)散泵油的沸騰有時也會引起震動，所以從防震角度考慮，即使不需要達(dá)到超高真空，有時也寧可用離子泵，而不用擴(kuò)散泵。
 
從前一級泵或擴(kuò)散泵進(jìn)入試樣室的油分子會吸附在試樣表面上，并被電子探針?biāo)纸狻Ｈ绻粩嘌a充吸附層，則污染相當(dāng)快，幾分鐘內(nèi)就可厚達(dá)0.01微米，具體時間的長短決定于電子束電流的大小。故需用較長的管道來防止油蒸氣進(jìn)入試樣室。在機械泵和擴(kuò)散泵之間可裝一吸附阱，擴(kuò)散泵和試樣室之間加-熱-電-冷卻擋板。必要時還應(yīng)在試樣周圍放-冷卻板。
 
對于有些場合，可以通過空氣閥門把試樣送到顯微能里，這樣因換試樣而引起的壓強增加可減少到最低的程度。另一方面，如果在觀察時要對試樣進(jìn)行各種電的或機械的實驗?zāi)敲醋詈糜靡粋€裝有這些附件的大試樣室。在這種情況下抽真空的時間可以允許長到5~10分鐘。